“大家早就想扬眉吐气一次了，这些年可没少在半导体领域受欺负。”
“徐教授已经研发出了高端光刻胶，只要我们这边组装好整台光刻机，立马就可以进行芯片的制造测试。”
徐昀把大家的表现看在眼里，尤其作为院士的罗长辉姿态上也放的非常低，他对此自然是非常满意，毕竟这时候最需要的就是整个项目组团结合作。
念头停留在这里，他清了清嗓子继续往下讲。
“有大家的支持我相信项目肯定没问题，不出意外的话夏季肯定能够实现交付。”
“以往在半导体领域受制于人的情况将不复存在。”
“接下来大家依旧先按时完成自己的工作，我会待在所里直到光刻机组装完成，期间有任何事情都可以随时来找我。”
……
接下来的时间，会议又持续了半个小时左右，能看到大家脸上都充斥着轻松。
可谓是胸有成竹。
值得一提的是，徐昀并没有重新安排大家的工作。
从杨靖的文件中能看出大家的工作内容完成的都非常不错。
并没有出现突发状况。
这说明现有安排是非常合适的。
如此只需保持现状即可。
为了不耽误大家的工作时间，会议内容进行的差不多后徐昀便宣布散会。
大家陆续起身离开下，很快会议室内便还剩下徐昀和罗长辉两个人。
看到罗长辉似乎并没有要走的意思，徐昀想着对方可能还有话想单独说，便暂时停下自己的动作主动向对方询问。
“罗院士。”
“您还有什么疑问吗？”
会议上他作为项目负责人眼里只有工作，不过私下对于罗长辉这种前辈是非常尊敬的。
罗长辉这时听到喊声缓缓抬起视线，能看到有些浑浊的眼睛微微泛红。
情绪在心底不断翻涌。
稍微顿了两秒，只见他深吸一口气，说出自己此刻心中最真实的想法。
“我真的非常感谢你徐教授，如果不是你的话国产光刻机项目恐怕依旧遥遥无期。”
“是你扭转了我们在半导体领域的局面。”
讲到这里罗长辉心里也颇为伤感，先前他作为光刻机项目负责人，尽管带队很努力的想要研发出高端光刻机彻底解决国内制造不出高端芯片的问题。
奈何理想终究是理想，和现实存在太大偏差。
几年下来虽花了不少国家经费，成功让光刻机技术向前有所迈进，可和海外的光刻机水平相比简直就不在同一个层面上。
根本解决不了国内半导体领域的局面。
为此他也是非常自责。
其实侯盛昌决定把徐昀请过来担任项目负责人时他心里是有些不服气的。
当然这并不是说他舍不得项目负责人，而是不相信徐昀如此年轻，真能让光刻机项目迎来突破性进展。
虽说徐昀的表现非常优秀，并在材料人工智能光电等领域都做出了成绩，可光刻机的复杂程度绝对是难以想象的。
全部零部件数量高达几十万。
不过这种想法在他心中并没有持续太长时间。
在看到徐昀很短时间内便有了光源制造方案，并且成功通过测试后，他便意识到院长特意把徐昀从京大请来是多么正确的决定。
到后面徐昀接连解决光刻机难题，让国产极紫外光刻机的交付变成了可能。
他除了对徐昀欣赏服气外，更多的则是感激。
尤其春节假期期间发生的门框机器人事情，更让他对徐昀的恐怖实力有了全新认知。
怪不得徐昀能独自获得科学技术进步奖特等奖。
可以说他无比相信徐昀的话，今年夏季首台极紫外光刻机必将准时交付。
“罗院士，这是我们大家共同的努力，而海外那边也很快会见识到这股力量的恐怖。”
徐昀嘴角微微上扬浮现出一抹和煦笑容，眼睛平静的注视着罗长辉说出这句话，并没有把全部功劳都揽到自己身上。
他是依靠大脑超频解决了光源投影系统以及掩膜等光刻机重要问题。
但单靠他自己可无法组装出整台光刻机，这需要项目成员的协助。
罗长辉听到这句话先是神情微怔，很快反应过来脸上堆出笑容。
然后站起身说道：“我也很期待届时海外方面会有什么反应。”
“我想肯定很精彩。”徐昀回复道。
会议结束后大家很快便进入到状态，按照自己的工作内容相互配合完成光刻机的组装以及调试。
而接下来的几个月时间内，光电技术研究所不再在网上公布任何消息，全力加快项目进度，这使得互联网相比前段时间总算平静了很多。
但眼看今年即将过半，关于国产极紫外光刻机的消息却迟迟没有传出，这使得有些厂商和网友也开始担心害怕出现意外。
想到如果国产极紫外光刻机制造不出来，那么他们就必须接受那些条款继续采购海外公司的高端芯片，如此先前发布的联合声明也就成了笑话。不过这也是没有办法的事情，除非眼睁睁看着庞大的公司走向衰亡。
为此各大厂商的高层会议召开的越发频繁。
奈何由于实在找不到渠道获取最新消息，大家也只能耐心等待。
就这样时间很快进入到六月份，在光电技术研究所极紫外光刻机项目组全体成员的共同努力下，首台国产极紫外光刻机终于完成组装调试。
毫无疑问这对于大家来说是个值得庆贺的日子，这么长时间的付出终于迎来了回报。
不过这个消息依旧处在保密状态中，并没有立刻对外界进行公布。
因为极紫外光刻机完成调试组装，还不算真正意义上的成功。
还需要使用光刻胶蚀刻晶圆片进行芯片制造测试。
只有顺利完成测试达到相应的成品率，这台极紫外光刻机才算真正满足要求，可以正式交付使用。
为了见证这一里程碑时刻，除了项目组成员研究所所长全部到场外，科学院院长侯盛昌得到消息后也同样第一时间飞来了锦城。
……
第277章 历史性时刻
“人员都已经到齐了，可以随时开始测试。”光电技术研究所徐昀身穿着专门的研究服，安排妥当后向身旁科学院院长侯盛昌汇报。
同样穿着研究服的侯盛昌，闻言立刻抬手道：“你是项目负责人，按照自己的安排进行即可，我这次过来主要是旁观。”说话的语气很是柔和，丝毫没有要喧宾夺主进行指挥的意思。
当初他看中徐昀的实力，亲自前往京州大学邀请其负责光刻机项目。
到今天不过才一年多的时间。
但收获却甚是巨大。
徐昀带领光电技术研究所项目团队，成功制造出了国内首台极紫外光刻机。
具备深远意义。
可以说是让国产半导体领域迈入了新的里程碑。
得知首台极紫外光刻机就要进行芯片测试时，他几乎没有任何迟疑，第一时间推掉了后面的行程乘坐飞机从帝都赶到锦城。
作为如此重要的时刻，他这个院长肯定要亲眼见证这伟大的一幕。
徐昀知道侯盛昌的性格，自然不会在这种小事上去想太多，当即嘴角噙着笑容应声回答。
“我明白了院长。”
说完便对工作人员下令道：“开始吧。”
与此同时坚守现场的罗长辉杨靖等人，尽管都穿着专业服装，却难掩心中的兴奋和激动。
他们作为研发光刻机的老人，不知多少次做梦都想看到国产极紫外光刻机，如今这个梦想眼看就要彻底变成能够触摸的现实，想依旧保持内心的平静和沉默，那实在是太难了。
甚至就连侯盛昌的呼吸都急促起来。
不过越是这个时候，大家心底那丝担忧的情绪就越发强烈。
倒不是说不信任自己这么长时间做出来的成果，只是事情没到最后一刻任何事都有可能发生。
确实难以把心彻底放下。
此次测试关乎整台光刻机的性能，只有通过测试才能进行到下一个交付环节，否则便要重新优化调试检查问题所在。
但局面变成这样的话，就不知道中间要消耗多长的调试时间。
肯定无法按照之前公开的时间交付光刻机，到那个时候半导体领域势必进一步恶化。
这种情况绝对是在场所有人都不希望看到的。
因此随着徐昀正式下达命令后，所有人都全神贯注耐心等待最终结果。
2021年6月5日，这对于国内半导体领域绝对是无比重要的一天。
研究所内由几十万零部件组成的精密仪器让人很难能移开目光，在这一刻仿佛已经形成了艺术品。
同时其价值也是普通人难以想象的。
不夸张的讲，一台极紫外光刻机的售价都高达几十亿美刀。
而徐昀采用全新核心技术研发的这台光刻机，相比阿斯麦成本上要低不少。
这点也算是国产极紫外光刻机的优势。
如果将来相互竞争的话，那么对方将很快失去原有的竞争力。
关于前期的材料准备工作早已经完成，制作成的芯片级单晶硅棒已经被切成薄片，变成高纯度的芯片级硅片也就是晶圆。
想要将晶圆制作成芯片，首先需要准备的是光刻掩膜版。
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